超纯水电阻率溶解氧在线监测分析仪ERUN-SZ系列

多参数水质

产品描述

赢润集团研发生产的ERUN-SZ系列超纯水电阻率溶解氧在线监测分析仪参照国际材料试验协会发布的《ASTM D5127-13(2018) 电子和半导体行业超纯水标准指南》而设计，电子行业用水水质监测设备能够连续实时在线监测超纯水水质的电阻率和溶解氧含量，半导体超纯水电阻率溶解氧在线分析仪广泛适用于晶圆清洗、光刻、CMP工艺、液晶面板、LED、集成电路生产、注射用水（WFI）和纯化水（PW）系统以及锅炉补给水系统等行业领域。

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ERUN-SZ系列超纯水电阻率溶解氧在线监测分析仪产品产品概述

赢润集团研发生产的ERUN-SZ系列超纯水电阻率溶解氧在线监测分析仪参照国际材料试验协会发布的《ASTM D5127-13(2018) 电子和半导体行业超纯水标准指南》而设计，ERUN-SZ系列电子行业用水水质监测设备能够连续实时在线监测超纯水水质的电阻率和溶解氧含量，ERUN-SZ系列半导体超纯水电阻率溶解氧在线分析仪广泛适用于晶圆清洗、光刻、CMP工艺、液晶面板、LED、集成电路生产、注射用水（WFI）和纯化水（PW）系统以及锅炉补给水系统等行业领域。

根据国际标准《ASTM D5127-13(2018) 电子和半导体行业超纯水标准指南》，超纯水按用途与纯度分为7个等级，每个等级对电阻率和溶解氧均有明确规定，例如：

类型	电阻率 (MΩ·cm @25℃)	溶解氧 (μg/L)
E-1	18.1	25
E-1.1	18.2	10
E-1.2	18.2	3
E-1.3	18.2	10
E-2	16.5	未要求
E-3	12	未要求
E-4	0.5	未要求

ERUN-SZ系列电子行业用水水质监测设备产品特点

一、超纯水电阻率在线监测分析仪产品特点：
★测量精度高：采用先进电极技术与信号处理算法，确保电阻率数据准确可靠；
★实时在线监测：24小时连续监测水质变化，及时预警潜在问题；
★数据远传：支持 4-20mA模拟信号和 RS485 Modbus-RTU协议，可与PLC、DCS及中央监控系统无缝对接；
★适应性强：设备防护等级达 IP65，适用于洁净室、管道旁路、水箱等复杂安装环境；
★低功耗设计：节能环保，长期运行稳定，降低维护频次。

二、超纯水溶解氧在线监测分析仪产品特点：
★光学传感技术：采用先进荧光猝灭原理，实现 ppb（μg/L）级别的溶解氧检测；
★高稳定性与抗干扰：不受气泡、流速及水质波动影响，确保数据准确；
★实时监测与报警：支持在线实时数据展示与异常报警，便于工艺人员快速响应；
★远程传输与智能管理：同样支持标准工业通讯协议，便于集成到智慧水系统中；
★长效耐用：IP65防护 + 低功耗设计，适合长期连续运行。

ERUN-SZ系列半导体超纯水电阻率溶解氧在线分析仪技术参数

一、超纯水电阻率在线监测分析仪技术参数：

电阻测量范围：	0.01 电极 50～20000kΩ·cm 0.1 电极 5～20000kΩ·cm 1.0 电极 0.5～20000kΩ·cm 10.0 电极 0.05～20000kΩ·cm（其他量程定做）
电导测量范围：	0.01 电极 0～20.00μS·cm 0.1 电极 0～200.0 μS·cm-1 1.0 电极 0～2000 μS·cm-1 10.0 电极 0～20.00 mS·cm-1（其他量程定做）
TDS测量范围：	0.01 电极 0~10 ppm 0.1 电极 0~100 ppm 1.0 电极 0~1000 ppm 10.0 电极 0-10000ppm （其他量程定做）
分辨率：	0.01kΩ·cm
精度：	±2.0 %(FS）
自动温度补偿：	0~100℃温补NTC 10K，以25℃为基准,温补系数可修正

二、超纯水溶解氧在线监测分析仪技术参数：

量程	0-20μg/L（ppb）
测量精度	±1％ F.S
重复性	±0.5％ F.S
分辨率	0.01μg/L
稳定性	±0.5％ F.S/24h
工作温度	0-50℃
温度精度	±1℃
温度重复性	±0.5℃
工作大气压力	40-115kPa
最大承受压力	1000kPa
储存温度	-20-70℃

以上就是关于ERUN-SZ系列超纯水电阻率溶解氧在线监测分析仪的相关介绍，在追求极致纯净的半导体与电子制造领域，超纯水的电阻率和溶解氧必须控制在极低范围内，选择高性能电子行业用水水质监测设备，是确保生产工艺稳定与产品品质的核心环节。而赢润集团研发生产的ERUN-SZ系列半导体超纯水电阻率溶解氧在线分析仪，以高精度、智能化、稳定可靠的特性，成为保障水质安全、提升生产效率与产品良率的核心利器。