半导体掺杂工艺需要检测哪些气体--半导体掺杂工艺用气体检测仪

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2024.01.03

半导体掺杂工艺需要检测哪些气体

半导体掺杂技术是半导体器件的核心技术之一，掺杂是指将一定数量的杂质掺入到半导体材料的工艺，能够改变半导体材料的电学特性，优化半导体芯片的性能。掺杂的方式主要有扩散和离子注入，两种方法在集成电路和分立器件中都会用到，为了保证生产安全，半导体掺杂工艺用气体检测仪的使用非常重要，下面来看看半导体掺杂工艺需要检测哪些气体？

利用扩散技术实现掺杂的工艺过程中危险气体主要有硼乙烷、硒化氢、三氟化氯、氢气、砷化氢等气体，硼乙烷是一种毒性很强的气体，轻度中毒表现为呼吸道和眼刺激，严重地会导致窒息、死亡等。三氟化氯是一种有毒有腐蚀的气体，吸入后会引起后喉痉挛、肺炎、肺水肿等，还会与稀有气体反应。砷化氢的毒性也很强，长期接触会导致慢性中毒，表现为腹痛、呕吐等症状，严重地还会导致神经系统、肾脏等衰竭。氢气、砷化氢属于可燃气体，达到爆炸下限时与空气混合形成爆炸混合物，遇明火和高热就会引起燃烧爆炸。

利用离子注入技术实现掺杂的工艺过程中除需要检测硼乙烷、砷化氢外，还需要检测磷化氢、三氟化硼等气体，长期接触磷化氢会出现恶心、呕吐、昏迷等症状，严重地还会直接致死。长期接触三氟化硼会导致眼睛、呼吸道、皮肤等部位的刺激，严重的情况还会导致气道收缩。

由此可见，掺杂过程中涉及的有害气体和可燃气体对人体和环境的的危害都非常大，需要安装气体检测仪对目标气体进行检测，这里推荐西安赢润环保公司生产销售的ERUN-PG71S6便携式多参数气体检测仪，此款仪器能够同时检测1-6种气体，泵吸式设计，响应速度快，多种报警模式可设置，报警提示明显。

半导体掺杂工艺用气体检测仪技术参数
产品型号：ERUN-PG71S6
检测气体：硼乙烷、砷化氢、三氟化氯、氢气、磷化氢等
检测精度：≤±2%F.S （更高精度可订制）
防护等级：IP67
防爆类型：本质安全型ExiaⅡCT4Ga

上述即为半导体掺杂需要检测哪些气体的相关介绍，热扩散和离子注入技术是半导体掺杂工艺的两种方式，在进行掺杂工艺时，往往会涉及很多种气体，这些气体对环境和人体健康都有不同程度的损害，为保护环境和人身安全，定期使用半导体掺杂工艺用气体检测仪，确保环境中的气体浓度处于安全范围内。