半导体电子超纯水电阻率溶解氧标准及监测解决方案

2025.07.07　浏览量：16 次

在半导体和电子行业中，超纯水的水质对生产过程和产品质量有着至关重要的影响。超纯水的电阻率和溶解氧是衡量水质的关键指标，直接影响到半导体器件的制造和电子产品的性能。因此，严格遵守相关的水质标准并进行实时监测是确保生产顺利进行和产品质量的重要保障，下面就和赢润集团工作人员一起来了解一下吧！

根据《ASTM D5127-13(2018) 电子和半导体行业超纯水标准指南》，电子和半导体行业超纯水水质的电阻率和溶解氧标准可以分为以下七个类型：

类型	电阻率 (MΩ·cm @ 25℃)	溶解氧 (μg/L)
E-1	18.1	25
E-1.1	18.2	10
E-1.2	18.2	3
E-1.3	18.2	10
E-2	16.5	-
E-3	12	-
E-4	0.5	-

这些标准为半导体和电子行业提供了明确的水质要求，确保超纯水在生产过程中能够满足高质量标准。

为了确保超纯水的水质符合上述标准，赢润集团研发生产的ERUN-SZ1S-A-A4水质电阻率在线监测分析仪和ERUN-SZ4-A-A5水质微量溶解氧在线分析仪，为超纯水的实时监测提供了高效、可靠的解决方案。

ERUN-SZ1S-A-A4水质电阻率在线监测分析仪主要特点：
★高精度测量：采用先进的传感器技术，确保测量结果的准确性和可靠性。
★实时监测：能够连续实时在线监测超纯水的电阻率，及时发现水质变化。
★数据传输：支持 4-20 mA 模拟量信号和 RS485（ModBus-RTU）数字量信号远程传输监控，方便用户进行远程监控和数据管理。
★防护等级高：设备具有 IP65 防护等级，能够有效防止灰尘和水溅，适应各种复杂的工作环境。
★低功耗设计：采用低功耗设计，确保设备长时间稳定运行，减少维护成本。

ERUN-SZ4-A-A5水质微量溶解氧在线分析仪主要特点：
★高灵敏度检测：采用先进的光学传感器技术，能够高灵敏度地检测微量溶解氧。
★实时监测：能够连续实时在线监测超纯水中的溶解氧浓度，确保水质符合标准。
★数据传输：支持 4-20 mA 模拟量信号和 RS485（ModBus-RTU）数字量信号远程传输监控，方便用户进行远程监控和数据管理。
★防护等级高：设备具有 IP65 防护等级，能够有效防止灰尘和水溅，适应各种复杂的工作环境。
★低功耗设计：采用低功耗设计，确保设备长时间稳定运行，减少维护成本。

赢润集团的水质监测设备广泛应用于以下领域：
▲半导体制造：在半导体制造过程中，实时监测超纯水的电阻率和溶解氧，确保水质符合生产标准。
▲电子行业：在电子产品的生产过程中，监测超纯水的水质，确保产品质量。
▲实验室研究：为研究人员提供准确的水质监测数据，支持相关研究和开发工作。
▲工业生产：在其他需要高纯水的工业生产中，监测水质，确保生产过程的顺利进行。

在半导体和电子行业中，超纯水的电阻率和溶解氧是关键的水质指标。通过严格遵守相关的水质标准并使用先进的监测设备，如赢润集团的 ERUN-SZ1S-A-A4 水质电阻率在线监测分析仪和 ERUN-SZ4-A-A5 水质微量溶解氧在线分析仪，可以有效确保超纯水的水质符合生产要求，保障生产过程的顺利进行和产品质量。选择合适的监测设备，让水质管理变得更加智能、高效。

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